Am 26. und 27. Oktober 2005 fand die 7. Chemnitzer Fachtagung „Mikrosystemtechnik – Mikromechanik & Mikroelektronik“ statt. Ausrichter waren neben der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Chemnitz die VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM), der Verein Angewandte Mikroelektronik Chemnitz e.V. (AMEC) und der Förderverein für Gerätetechnik und Mikrosystemtechnik Chemnitz e.V.
Wie die vorangegangenen war auch die 7. Tagung mit etwa 100 Besuchern ein Erfolg für die Organisatoren. Namhafte Wissenschaftler aus Hochschulen, Forschungsinstituten und Industrie arbeiteten im Programmkomitee an der Vorbereitung der Tagung mit und sorgten durch die fachliche Begutachtung für eine hohe Qualität der angenommenen Beiträge und damit der Tagung. Die erfreulich große Reaktion auf den Call for Papers zur Tagung ermöglichte es, 26 Vorträge in 5 Sessions sowie eine Postersession zu präsentieren. Ein wesentliches Anliegen der Tagung bestand darin, unter dem gemeinsamen Dach der Mikrosystemtechnik Mikroelektroniker und Mikromechaniker im wissenschaftlichen Gedankenaustausch zu vereinen. Deshalb war das Tagungsprogramm bewusst einzügig angelegt.
Nach der Eröffnung durch den Rektor der TU, Prof. Matthes, berichtete Prof. Dr. Bernd Junghans (Verein Silicon Saxony e. V. und langjähriger Vorstand von ZMD Dresden) in einem eingeladenen Vortrag über drahtlose Sensornetzwerke und die Herausforderungen, die sich aus ihrem zunehmenden Einsatz für die Mikrosystemtechnik ergeben.
Im Anschluss daran wurden am ersten Tag in drei Sessions interessante Beiträge zu den Themenkreisen Applikation und Entwurf/Charakterisierung vorgestellt. Schwerpunkte der beiden Sessions- zur Applikation waren u. a. mikromechanische thermische Sensoren, miniaturisierte Thermogeneratoren, Systeme für die Bioprozess- und Analysenmesstechnik, Vakuumsensoren und Implementierungsprobleme bei der Applikation von MEMS-Beschleunigungssensoren. Im Mittelpunkt der Session Entwurf/Charakterisierung standen neben der Zuverlässigkeit von MEMS-Komponenten auch Mikroelektronik-Applikationen für die Bildverarbeitung, spezielle Messverfahren und Möglichkeiten zur Modellierung von analogen Komponenten mit Hardwarebeschreibungssprachen.
In einer Postersession hatten die Autoren Gelegenheit, im Plenum auf sich und ihre Poster aufmerksam zu machen. In den anschließenden Gesprächen zwischen Posterautoren und Tagungsbesuchern wurde sowohl gefachsimpelt als auch viele neue Kontakte geknüpft.
Zum Abschluss des ersten Tages bildete der zweite eingeladene Vortrag einen weiteren Höhepunkt der Tagung. Prof. Dr. med. Ralf Steinmeier vom Klinikum für Neurochirurgie (Klinikum Chemnitz gGmbH) schilderte in eindrucksvoller Weise die Möglichkeiten des Einsatzes innovativer Techniken bei neurochirurgischen Operationen. Der Abend klang mit einem von der GMM organisierten Empfang aus, bei dem etwa 90 Tagungsteilnehmer die Möglichkeiten zum angeregten Gespräch in angenehmer Atmosphäre nutzen.
Der zweite Tag begann mit einer Session zum Thema Technologie. Betrachtet wurden hier neue technologische Verfahren zur Herstellung von Mikroprodukten, zur Integration passiver Komponenten, zum Packaging und technologische Grundlagenuntersuchungen für neuartige Silizium-Anzünder für Airbags und Gurtstraffer.
Dass vom Programmkomitee eine weitere Session zum Thema Applikation eingerichtet wurde, war Ausdruck für die große Anzahl von Tagungsbeiträgen, die sich mit der praktischen Umsetzung neuester Forschungsergebnisse in konkrete Mikroprodukte befasste. Im Mittelpunkt standen dabei ein mikrotechnischer Photoionisationsdetektor, thermisch detektierte Taupunktsensoren, ein miniaturisierter Druckregler für Gase, ein Modul zur optischen Freirumkommunikation sowie die sich abzeichnende Konvergenz von Sensorik und Mobilkommunikation. Mit dem letztgenannten Thema konnte der Bogen zum ersten eingeladenen Vortrag zu den drahtlosen Sensornetzwerken geschlossen und damit die zunehmende Bedeutung von allgegenwärtigen Mikro- und Sensorsystemen unterstrichen werden.
Thematisch im Umfeld der Tagung bestens aufgehoben, veranstaltete der DFG-Sonderforschungsbereich 379 Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays ein öffentliches Kolloquium, in dem aktuelle Forschungsergebnisse präsentiert und Ausblicke auf die noch zu leistende Arbeit in der letzten Etappe des SFB bis zum Ende des Jahres 2006 gegeben wurden.
Besonders erfreulich war, dass während der zweitägigen Tagung namhafte Firmen aus den Bereichen Mikrosystemtechnik/Mikromechanik und Mikroelektronik sich und ihre Produkte präsentierten. Dazu gehörten neben international renommierte Unternehmen auch einheimische Firmen, die sich dem Aufbau des Wirtschafts- und Hochtechnologiestandortes Sachsen und Chemnitz verschrieben haben.
Insgesamt leistete die 7. Chemnitzer Fachtagung „Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik“ einen Beitrag zur Kommunikation zwischen Mikroelektronikern und Mikromechanikern. Erstmals im Dorint Parkhotel Chemnitz durchgeführt, hat sich die „Szene“ wieder in Chemnitz getroffen. Es konnte einmal mehr dokumentiert werden, dass Chemnitz mit seiner langen Tradition auf beiden Wissens- und Arbeitsgebieten ein geeigneter Ort für eine solche Tagung ist. Nicht zuletzt deshalb wurden am Ende der Tagung die Teilnehmer von den beiden Organisatoren, Prof. Dötzel und Prof. Müller, herzlich für den Herbst 2007 zur 8. Fachtagung nach Chemnitz eingeladen.