Von der GMM wird jährlich ein Preis für hervorragende Veröffentlichungen innerhalb der letzten drei Jahre auf allen Arbeitsgebieten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik ausgeschrieben. Dabei können auch deren Wechselwirkungen mit der Wirtschaft, dem Arbeitsmarkt, der Gesellschaft und der Ausbildung behandelt werden.

Die Arbeiten müssen eine schöpferische Leistung darstellen und nach Inhalt oder Art der Darstellung klar und anschaulich sein. Auch die zusammengefaßte Darstellung eines größeren Gebiets kann preiswürdig sein, ohne daß die Arbeit notwendigerweise neue wissenschaftliche Erkenntnisse vermittelt.

Der GMM-Preis ist mit einer Geldprämie von z.Zt. Euro 2.500 verbunden, die auch auf mehrere Preisträger aufgeteilt werden kann. Der Preis kann nur an Personen verliehen werden, die zum Zeitpunkt der Veröffentlichung VDE- und/oder VDI-Mitglied sind und im Regelfall nicht älter als 40 Jahre sein sollten.