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Arbeitsfelder:
- Prozesstechnische Grundlagen der Mikroelektronik, insbesondere Strukturübertragung
- Ionenimplantation
- Heißprozesse
- Prozesssimulation und Probleme der Kontamination von Halbleiterscheiben während der Prozessierung
Die Arbeit des Fachausschusses erfolgt in enger Kooperation mit dem Fachausschuss 1.2 "Verfahren" des Fachbereiches 1 "Mikro- und Nanoelektronik-Herstellung" der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM).
Fachgruppen:
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