Inhalt
Übersichtsvortrag I
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Ultraschall in der Sensorik
R. Lerch, Universität Linz |
13 |
Sensoren: Grundlagen und Technologie
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CMOS-kompatible Oberflächenmechanik: Schlüsseltechnologie für VLSI-Mikrosysteme
C. Hierold, Th. Scheiter, H.-J. Timme, Siemens AG, München |
15 |
Der piezoresistive Effekt - zu instabil für hochgenaue Sensorapplikationen?
G. Gerlach, A. Nakladal, Institut für Festkörperelektronik, TU Dresden |
23 |
Halbleiter-Schichtstrukturen mit porösem Silizium als Chemo- und Biosensoren
M. J. Schöning, M. Thust, P. Kordos, H. Lüth, Institut für Schicht- und Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, Jülich; F. Ronkel, J. W. Schultze, AGEF e. V. Institut, Heinrich-Heine-Universität Düsseldorf |
33 |
Abscheidung pyroelektrischer Dünnschichten mit gepulster Laserstrahlung (PLD)
M. Sommer, J. Gottmann, E.W. Kreutz, Lehrstuhl für Lasertechnik, RWTH Aachen |
41 |
Sensoren: Messung kinematischer Größen
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Hochgenaue Positionsbestimmung im Raum mit Composite-Wandlern
C. Reimann, J. Janocha, Universität des Saarlandes, Saarbrücken |
45 |
Multifunktionales Mikrowellen-Sensorsystem zur Messung kinematischer Größen
M. Lust, J. Otto, Institut für Angewandte Forschung, FH Aalen |
53 |
Berührungslose Geschwindigkeits- und Wegmessung von Schienenfahrzeugen mit Wirbelstrom-Sensoren
Th. Engelberg, Institut für Meß- und Regelungstechnik , Universität Karlsruhe |
61 |
Ein hierarchisches Rekonstruktionsmodell für die Lage von Objekten im Raum
S. Möckel, U. Kiencke, Universität Karlsruhe |
67 |
Sensoren: Elemente und Bauteile
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Funksensorik und Identifikation mit OFW-Sensoren
L. Reindl, G. Scholl, Th. Ostertag, F. Schmidt, Siemens AG, München, A. Pohl, Institut für allg. Elektrotechnik und Elektronik, TU Wien |
77 |
Resonant Vibrating Plates as Sensor Elements,Theoretical Results
H. Storck, H. Vroomen, Heinz Nixdorf Institut, Uni-GH Paderborn |
87 |
Single-Chip CMOS Potentiostat für amperometrische chemische Sensoren
O. Köster, H. G. Dura, W. Mokwa, R. G. Kakerow, Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme, Duisburg |
93 |
An industrial Si-surface micromachining foundry: concept and experiences
M. Illing, M. Offenberg, H. G. Vossenberg, H. Münzel, J. Marek, Robert Bosch GmbH, Reutlingen |
99 |
Sensoren: Gassensensoren
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Selektive Sauerstoffsensoren durch Oberflächenmodifikation von hochtemperaturstabilen Ga2O2 Dünnschichten
T. Schwebel, M. Fleischer, H. Meixner, Siemens AG, München |
105 |
Temperaturunabhängige Sauerstoffsensoren zur Regelung von Verbrennungsvorgängen
H.-J. Schreiner, K. H. Härdti, Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik, Universität Karlsruhe |
109 |
Spektroskopische Gasdetektoren im nahen lnfrarot (NIR) mit DFB Laserdioden
E. Magon, R. Strzoda, E. Chemisky, B. Borchert, M. Fleischer, H. Meixner, Siemens AG, München; I. Eisele, Universität der Bundeswehr, München |
117 |
Resistive Hochtemperatur-Sauerstoffsensoren auf der Basis von donatordotiertem Bariumtitanat
W. Menesklou, K. H. Härdtl, Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik, Universität Karlsruhe, R. Moos, Daimler-Benz Forschung, Dornier GmbH Friedrichshafen |
127 |
Chemosensoren mit molekulargeprägten Erkennungsschichten - Technologie der analytspezifischen Sensoradaption
F. L. Dickert, W. Greibl, 0. Hayden, P. Lieberzeit, M. Tortschanoff, Institut für analytische Chemie, Universität Wien; W.-E. Bulst, U. Knauer, G. Fischerauer, Siemens AG, München |
133 |
Prozeßtechnik: Optische Verfahren
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Interferenzoptische Waagen für dynamische Prozesse
G. Jäger, R. Füßl, TU Ilmenau |
139 |
Optische Formmessung an Bohrungen
A. Weckenmann, Th. Kersting, St. Schmitz, Universität Erlangen-Nürnberg |
145 |
Optische Abstandssensoren für die Im-Prozeß-Meßtechnik in der Fertigung
B. Huhnke, Institut für Meßtechnik und Experimentelle Mechanik, TU Braunschweig |
151 |
Optische Streulicht-Meßanordnung mit erweitertem Meßbereich und eindeutiger Bereichserkennung
S. Vaihinger, Endress und Hauser Conducta GmbH, Gerlingen |
161 |
Prozeßtechnik
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Ein Wirbelstromverfahren zur Messung der Dicke und Leitfähigkeit von metallischen Folien
F. Röper, Institut für Elektrische Meßtechnik, TU Braunschweig |
163 |
Oberflächenspannungsmeßtechnik zur Prozeßüberwachung
L. Schulze, Institut für Feinwerktechnik, TU Dresden; A. Böttger, SITA Meßtechnik GmbH Dresden |
169 |
Time Domain Reflectometry - Kabelradar erobert die Füllstandstechnik
G. Wartmann, Endress und Hauser GmbH, Maulburg |
179 |
Mikrowellensensor zur Online-Messung der Faserorientierung in Papier
A. Gasch, V. Schüle, D. Treibert, ABB Forschungszentrum, Heidelberg |
181 |
Übersichtsvorträge II
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Funktionsweise und Anwendungen der neuartigen PMD (Photonic Mixer Device)-Technologie
R. Schwarte, Universität-GH Siegen, Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), Institut für Nachrichtenverarbeitung (INV); H. G. Heinol, Universtiät-GH Siegen, Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), |
189 |
Laserinterferometrische Meßverfahren - Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen
G. Jäger, TU Ilmenau |
191 |
Elektronische Nasen: Gestern, Heute, Morgen
U. Weimar, Institut für Physikalische Chemie, Universität Tübingen |
207 |
Festvortrag
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Zukunft des Wirtschaftsstandortes Deutschland - Wege zur Innovationsgesellschaft
H. Riesenhuber, Bundesminister für Forschung a. D. |
229 |
Multisensorsysteme
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Konfigurations-, Auswerte-, und "intelligente" Selbstüberwachungskomponenten des modularen Gas-Multisensorsystems IGM
T. Doll, A. Köster, H. Gerlach, F. Derbel, H. R. Tränkler, I. Eisele, Universität der Bundeswehr, München |
231 |
Modular Sensor Systems für Gas Sensing and Odor Monitoring: Einsatz eines hybriden, modularen Sensorsystems in der Qualitätskontrolle
H. Ulmer, J. Mitrovics, U. Weimar, W. Göpel, Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, Universität Tübingen |
243 |
Modulares und konfigurierbares TSM-Sensorsystem zur Messung von organischen und anorganischen Analyten im Wasser
R. Borngräber, St. Rösler, R. Lucklum, F. Eichelbaum, Institut für Prozeßmeßtechnik und Elektronik, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, P. Hauptmann, Institut für Prozeßmeßtechnik und Elektronik, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Institut für Automation und Kommunikation (ifak), Barleben |
249 |
Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung
M. J. Schöning, M. Thust, A. Steffen, M. Müller-Veggian, P. Kordos, Institut für Ionentechnik, Forschungszentrum Jülich GmbH, Jülich |
257 |
Kapazitives Ultraschall-Array auf Siziliumbasis
Ch. Thielemann, R. Schellin, G. Hess, Institut für Übertragungstechnik und Elektroakustik, TU Darmstadt |
263 |
Sensoren: Druck und rheologische Größen
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Beschleunigungskompensierter Differenzdruckaufnehmer in Mikrotechnik
K. Bethe, Institut für Elektrische Meßtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik, TU Braunschweig |
271 |
Pirani-Sensor in Si-Mikromechanik
G. Bedö, W. Kraus, R. Müller, E. Lange, TU München |
275 |
Auslenkungskompensierender kapazitiver Druckaufnehmer für die Flugmeßtechnik mit der Möglichkeit der Selbstüberwachung
M.-O. v. Maydell, Institut für Elektrische Meßtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik, TU Braunschweig |
283 |
Possibilities and Limitations of Dual-Crystal TSM Viscosity Sensors
Ch. Zhang, St. Schranz, P. Hauptmann, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg |
289 |
Sensoren: Kalibrierung
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Rückführbare Kalibrierung und Prüfung von elektrischen Sensoren und Meßsystemen
J. Grimm, K. Münter, R. Pape, M. Spitzer, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin |
297 |
Neue Meßeinrichtungen für die zügige Kalibrierung von Kraft-, Drehmoment- und Druckaufnahmen
P. Hohmann, W. Steinbacher, H. Paul, Hottinger Baldwin Meßtechnik, Darmstadt |
303 |
Kalibrierung einer Leitfähigkeitsmeßzelle für Reinstwasseranwendungen
H. Riegel, Endress und Hauser Conducta, Gerlingen |
311 |
Sensoren: Strömungsmessung
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Ultraschall-Durchflußsensor mit phasenlinearem Ubertragungsweg
T. Vontz, H.-G. v. Garßen, C. Eccardt, B. Fischer, A. v. Jena, Siemens AG, München; N. Kroemer, Siemens AG, Karlsruhe |
319 |
Temperaturmodulation des Si-Strömungssensors
G. Bedö, J. Gstöttner, R. Müller, TU München |
325 |
Neuartiger Coriolis-Massendurchflußmesser mit einem geraden Meßrohr
W. Drahm, Endress und Hauser Flowtec AG, Reinach, Schweiz |
333 |
Postersitzung
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Integrierte Spulen für die Mikrosystemtechnik
E. Umbach, W. Langheinrich, Institut für Halbleitertechnik, TU Darmstadt |
339 |
Transiente Vorgänge in piezoelektrischen Keramiken für Aktoranwendungen
C. Heilig, K. H. Härdtl, Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik, Universität Karlsruhe |
345 |
Untersuchung von Carbonaten als Sensormaterial zur CO2- Detektion mit Feldeffekttransistoren
J. Mühlsteff, B. Ostrick, M. Fleischer, H. Meixner, Siemens AG, München |
351 |
Effiziente Kalibration für resistive Sensorsysteme
A. Kemna, O. Machul, D. Hammerschmidt, B. Hosticka, Fraunhofer Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme, Duisburg |
357 |
Lasergenerierung planarer Polymerlichtwellenleiter
M. Sommer, M. Bender, E. W. Kreutz, RWTH Aachen |
363 |
Optische Insitu-Prozeßkontrolle beim anisotropen Ätzen von Si-Membranen
U. Mescheder, Ch. Kötter, Institut für Angewandte Forschung, FH Furtwangen; E. Kolguin, A. Oukhov, Elektrotechnische Universität, St. Petersburg, Rußland |
365 |
Thermodynarnische Grenzen der Miniaturisierbarkeit am Beispiel eines kapazitiven Druckaufnehmers
D. Brunsch, K. Bethe, Institut für Elektrische Meßtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik, TU Braunschweig |
373 |
Modellhafte Beschreibung der Effekte von Wasser an der Oberfläche von Halbleitergassensoren
A. Czajor, Institut für Meß- und Automatisierungstechnik, Universität der Bundeswehr, München |
377 |
Durchflußmessung am Regelventil
R. Schäfer, U. Jungnickel, R. Werthschützky, TU Darmstadt |
383 |
Physikalisch-Chemische Modellierung der Kennlinien von Halbleiter-Gassensoren
M. Horn, H. R. Tränkler, Institut für Meß- und Automatisierungstechnik, Universität der Bundeswehr, München |
389 |
Signalverarbeitung bei der Ultraschall-Dichtemessung von Flüssigkeiten
P. Püttmer, B. Henning, P. Hauptmann, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg |
393 |
Investigations of the Sensitivity and Linearity of Capacitive Porous Silicon Humidity Sensors
Z. M. Rittersma, W. Benecke, Universität Bremen |
399 |
Measurement and Computer-Integrated Generation of Ball Screws
T. Kagiwada, H. Harada, Universität Hokkaido, Japan |
403 |
Mikrowellen-Tomograf zur zerstörungsfreien Untersuchung nichtleitender Objekte
J. Otto, Institut für Angewandte Forschung, FH Aalen |
409 |
Polarimetrische Koppeleinheit für optische Strom- und Spannungssensoren
C. Helmig, A. Koch, D. Peier, H. Senftleben, Universität Dortmund |
413 |
Prozeßüberwachung bei der Montage hybrider Mikrosysteme
T. Pfeifer, B. Bröcher, RWTH Aachen |
421 |
Akustischer Aerosolsensor
L. Zipser, HTW Dresden |
427 |
Einfache Systemdiagnose bei binären Sensoren
G. Plasberg, S. Fericean, Balluf GmbH & Co. Neuhausen/Filder |
431 |
Durchflußmessung und Regelung von nicht-Newtonschen Flüssigkeiten mittels Drucksensoren
J. Sopka, ABB Forschungszentrum, Heidelberg |
439 |
Realisation elektrodenloser magnetisch-induktver Durchflußmesser (MID) in Mikrosystemtechnik
A. Stratmann, Ruhr-Universität Bochum |
443 |
Überwachung von Gleitlagern im Betrieb mit Hilfe der Messung des elektrischen Widerstands der Schmierölschicht - Neue Aspekte
W. Burger, R. Haller, A. Albers, Institut für Maschinenkonstruktionslehre und
Kraftfahrzeugbau, TH Karlsruhe |
449 |
Ein Sensormikrosystem zur Messung von Magnetfeldern mit vollintegriertem Magnetfeldsensor, Kalibrierspule und Sensorelektronik
D. Dudenbostel, K.-L. Krieger, C. Candier, R. Laur, Institut für Theoretische Elektrotechnik und Mikroelektronik, Universität Bremen |
453 |
Schnelle und berührungslose Temperaturmessung in strömender Atmosphäre mittels Ultraschall
O. Magnor, Institut für Elektrische Meßtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik, TU Braunschweig |
459 |
SnO2 Multisensorsysteme für Verkehr und Haushalt
U. Hoefer, H. Böttner, J. Wöllenstein, Fraunhofer Institut für Physikalische Meßtechnik, Freiburg; C. D. Kohl, Justus-Liebig-Universität, Gießen |
465 |
Moleculat Recognition: Supramolecular, Polymeric and Biometric Coatings for Chemical Sensors
T. Wessa, W. Göpel, Universität Tübingen |
473 |
Simulationsgestützter Entwurf von Sensorsystemen für Serviceroboter
J. Dahlkemper, R. D. Schaft, Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart |
475 |
Dynamische Ätztiefenmessung mit Zweistrahlinterferometrie zur insitu-Kontrolle beim Plasmaätzen in der Mikro- und Optoelektronik
G. Frankowski, OMECA Meßtechnik GmbH, Teltow/Berlin; H. Wittrich, W. John, Ferdinand-Braun-Institut für Höchstenergiephysik, Berlin |
483 |
Mikrostrukturierter Hohlleiter als Modulator für ein integriert-optisches Mikrofon
M. Klaiber, Institut für Übertragungstechnik und Elektroakustik, TU Darmstadt; D. Lange, Institut für Quantenelektronik, ETH Zürich |
491 |
Vibrationskompensierter Kapazitiver Sensor in einem Wirbeldurchflußmesser
R. Kerrorn, F. Ohle, Endress und Hauser Flowtec AG, Reinach, Schweiz |
497 |
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Datenmanagement an der Schleuse Uelzen
W. Melder, B. Raabe, R. Müller GfS mbH, Aachen |
503 |
Korrektur der Metrik von Rastersondenmikroskopen
D. Hüser, H. Rothe, Universität der Bundeswehr, Hamburg |
507 |
Grafisches Bediensystem für einen Hausbus
T. Weinzierl, Lehrstuhl für Elektrische Meßtechnik, TU München |
515 |
Einsatz von skalaren und vektoriellen Codemultiplex-Verfahren in Ultraschall-Mehrsendersystemen
B. Menz, TH Karlsruhe |
521 |
Objektorientierte Zustandsüberwachung von Maschinen mit VIBRO-IC
R, Kewitsch, Schenk Vibro, Darmstadt |
529 |
Auswertung nichtlinearer Sensorkennlinien, spez. Gas-Sensoren, durch Fuzzy-Microprozessoren
C. Voit, Unitronic GmbH, Düsseldorf |
531 |
Simulationen und Messungen zum Abstrahlverhalten breitbandiger Ultraschallwandler
L. Thieme, H. Daßler, H. Enge, W. Manthey, TU Chemnitz |
533 |
Brennstoffzelle - Gestern, Heute, Morgen
W. Drenckhahn, Siemens AG, Erlangen |
539 |
Übersichtsvorträge III
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Systems-Engineering beim Entwurf intelligenter Sensoren
K. Müller-Glaser, Universität Karlsruhe |
541 |
Innovative Systeme für das intelligente Haus
H.-R.. Tränkler, Universität der Bundeswehr, München
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543 |
Möglichkeiten und Grenzen akustischer Sensoren
R. Lucklum, Otto-von-Guericke-Universität, Magdeburg |
545 |
Maschinen- und Fahrzeugtechnik
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On-Line Messung der Reifenverformung im Betrieb, ein neuartiges Reifensensorprinzip
V. R. Magori, N. Seitz, FH München; V. R. Magori, Universität der Bundeswehr, München |
555 |
Indirekte Messung der Steigung der Kraftschlußkennlinien zur Optimierung des Adhäsionsverhaltens von Drehstromlokomotiven
P. Hildenbrand, Fachhochschule Offenburg; R. Schreiber, R. Kögel, ABB Forschungszentrum, Heidelberg |
563 |
Integrierte Zustandssensoren für Werkzeuge und Maschinenkomponenten
H. Lüthje, T. Löhken, R. Böttcher, Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, Braunschweig |
571 |
Signalverarbeitung, EMV
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Die Störfestigkeit mikrocontrollerbasierter Geräte gegenüber schnellen transienten Störgrößen
E. Habiger, G. Wolf, TU Dresden; G. Wolf, FH Merseburg |
579 |
Bestimmung des Signal/Rauschverhältnisses von Sensoren
A. Breitenbach, E. Schrüfer, TU München |
589 |
Meßdatenaufbereitung und Optimierung von Systemen mit Methoden des Soft-Computings
F. Wieland, K.-W. Bonfig, Institut für Meßtechnik, Universität GH Siegen |
595 |
Haustechnik
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Multisensormodul in MCM-Technik für das intelligente Haus
H. Köhne, H. Oppermann, M. Reischl, TU Berlin, F. Palme, TU München; T. Flaschke, M. Reischl, L. Schratt, H.-R. Tränkler, Universität der Bundeswehr, München |
603 |
Brandmelder nach dem Ultraschall-Mikrowellen-"Anti-Inzidenz"-Prinzip
H. Ruser, Siemens AG, München; V. Magori, H.-R. Tränkler, Siemens AG München, Universität der Bundeswehr, München |
611 |
Die intelligente Steckdose - Ein Schritt zum intelligenten Haus
W. Müller, TU München; W. Kämpf, IFAM GmbH, Erfurt |
617 |
Infrared Multi-Sensor Arrays for Flame and Gas Detection
K. Lenkeit, Minimax GmbH, Bad Oldesloe |
623 |
Bildverarbeitung
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Bildgebende Mikrowellenverfahren zur Darstellung innerer Strukturen von nichtmetallischen Werkstoffen
W. Pannert, J. Otto, FH Aalen |
625 |
Verfahren zur wissensunabhängigen automatischen Bildoptimierung in der technischen Sichtprüfung
T. Pfeifer, L. Wiegers, RWTH Aachen |
629 |
Quantifizierung von Drallerscheinungen an geschliffenen Wellendichtflächen mit Methoden der Bildverarbeitung
D. Krahe, J. Beyerer, Institut für Meß- und Regeltechnik, Universität Karlsruhe |
639 |
Rauhigkeitsmessung und Texturermittlung der Oberfläche der menschlichen Haut
R. Lunderstädt, H. Hopermann, Institut für Automatisierungstechnik, Universität der Bundeswehr, Hamburg; U. Hoppe, Beiersdorf AG, Hamburg |
647 | |