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05.02.2013 Berlin Sonstige Veranstaltung 2 0

Arbeitskreis Mikroelektronik - Mikroproduktionstechnik

Mikrokomponenten und mikrostrukturierte Bauteile
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Termin
Beginn: 05.02.2013
Ende: 05.02.2013
Veranstaltungs-Sprache
de-DE
Veranstaltungsort

Fraunhofer
Pascalstraße 8-9
10587 Berlin

Beschreibung
In der Mikrosytemtechnik werden mechanische Komponenten mit den fotolithographischen Ver-fahren der Mikroelektronik hergestellt. Die Mikroproduktionstechnik hingegen befasst sich mit der Produktion von Erzeugnissen, die min-destens ein für die Funktion notwendiges Geometriemerkmal oder eine funktionsbestimmende To-leranz mit Abmessungen von weniger als 10 µm bis in den Submikrometer-Bereich aufweisen. Damit werden Mikrobauteile sowie Mikrostrukturen auf größeren Flächen erzeugt. Für die Struktu-rierung kommen neben mechanischer Bearbeitung mit Werkzeugen und Geräten zur Mikrozerspa-nung auch der Materialabtrag mittels Funkenerosion und die Lasermaterialbearbeitung zum Ein-satz. Für die Prüfung der Abmessungen der Mikrokomponenten und Mikrostrukturen wird eine spezielle, sonst nicht übliche Meßtechnik mit hoher Auflösung und Genauigkeit eingesetzt. Wie auch in der Mikroelektronik müssen die Prozesse in klimatisierten Räumen und mit schwingungs-entkoppelten Geräten erfolgen. Im Vortrag wird der Fertigungsprozeß mit Maschinen zur Bearbeitung und Prüfung im Mikrometer-bereich beschrieben und es werden Beispiele für die mit diesen Mitteln möglichen Mikrokompo-nenten und Mikrostrukturen genannt. Bei dem anschließenden Rundgang durch die Laborräume werden der spezielle Fertigungsprozeß sowie die notwendige Messtechnik vorgestellt. Referent: Dr. Ing. Dirk Oberschmidt, Leiter Anwendungszentrum Mikroproduktionsrechnik.
Veranstalter

BV Berlin-Brandenburg

In Zusammenarbeit mit

Verein Deutscher Ingenieure VDI

Bemerkungen
Beginn: 18.00 Uhr Teilnahme kostenlos ? Gäste sind willkommen. Wir erbitten Ihre Anmeldung in der ETV-Geschäftsstelle, Tel.: 030/34145 66, Fax: 030/342 07 17, Email: etv-berlin@t-online.de

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Elektrotechnischer Verein (ETV) e.V.
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