Linda Wetzel, IWE1, RWTH Aachen
GMM-Fachtagung Mikro-Nano-Integration (MNI) 2022
Date
Start date | 2022-11-21 |
End date | 2022-11-22 |
Meeting language

Venue
RWTH Aachen
Campus-Boulevard 55
52074 Aachen
Description
Themenschwerpunkte
- Mikro-Nano-Integration - vom Material zum Produkt
- Funktionale Nanostrukturen in der Sensorik
- Neuartige Materialsysteme für Nanostrukturen
- Nanostrukturen in der Photonik und in der Umweltanalytik, Biochemie, Bioanalytik, Medizin, Point of Care – Diagnostik
- Quantensensing, Quanteninformation
- Chemische und physikalische Funktionalisierung
- ALD- und ALE-Verfahren der nächsten Generation
- Grenzflächen- und Skalierungseffekte
- 1D- und 2D-Elektronik- und Sensorsysteme
- Monolithische Integration von Nanostrukturen in MEMS und Mikroelektronik
- Pre- / Above- / Post-CMOS- bzw. MEMS-Prozesse
- Selbstorganisation von Nanostrukturen
- Heterogene Systemintegration
- Nanostrukturen auf neuartigen z.B. flexiblen Substraten
- Optische und elektrische Interconnects
- Reaktive Nanoschichten und Material-Verbundsysteme
- Charakterisierung und Qualitätssicherung von integrierten Nanostrukturen
- Co-Simulation von Mikro- und Nanostrukturen
Organizer
VDE/VDI-Ges. Mikroelektronik Mikrosystem- u. Feinwerktechnik