Linda Wetzel, IWE1, RWTH Aachen
21.11.2022 - 22.11.2022 Aachen Fachtagung / Konferenz

GMM-Fachtagung Mikro-Nano-Integration (MNI) 2022

Termin
Beginn: 21.11.2022
Ende: 22.11.2022
Veranstaltungs-Sprache
de-DE
Veranstaltungsort

RWTH Aachen
Campus-Boulevard 55
52074 Aachen

Beschreibung

Themenschwerpunkte

  • Mikro-Nano-Integration - vom Material zum Produkt
  • Funktionale Nanostrukturen in der Sensorik
  • Neuartige Materialsysteme für Nanostrukturen
  • Nanostrukturen in der Photonik und in der Umweltanalytik, Biochemie, Bioanalytik, Medizin, Point of Care – Diagnostik
  • Quantensensing, Quanteninformation
  • Chemische und physikalische Funktionalisierung
  • ALD- und ALE-Verfahren der nächsten Generation
  • Grenzflächen- und Skalierungseffekte
  • 1D- und 2D-Elektronik- und Sensorsysteme
  • Monolithische Integration von Nanostrukturen in MEMS und Mikroelektronik
  • Pre- / Above- / Post-CMOS- bzw. MEMS-Prozesse
  • Selbstorganisation von Nanostrukturen
  • Heterogene Systemintegration
  • Nanostrukturen auf neuartigen z.B. flexiblen Substraten
  • Optische und elektrische Interconnects
  • Reaktive Nanoschichten und Material-Verbundsysteme
  • Charakterisierung und Qualitätssicherung von integ­rierten Nanostrukturen
  • Co-Simulation von Mikro- und Nanostrukturen
Veranstalter

VDE/VDI-Ges. Mikroelektronik Mikrosystem- u. Feinwerktechnik

Kontakte

Ansprechpartner

VDE/VDI-GMM
Stresemannallee 15
60596 Frankfurt am Main

Tel. 069-63 08-227

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