GMM-Fachtagung Mikro-Nano-Integration (MNI) 2022

Themenschwerpunkte

• Mikro-Nano-Integration - vom Material zum Produkt
• Funktionale Nanostrukturen in der Sensorik
• Neuartige Materialsysteme für Nanostrukturen
• Nanostrukturen in der Photonik und in der Umweltanalytik, Biochemie, Bioanalytik, Medizin, Point of Care – Diagnostik
• Quantensensing, Quanteninformation
• Chemische und physikalische Funktionalisierung
• ALD- und ALE-Verfahren der nächsten Generation
• Grenzflächen- und Skalierungseffekte
• 1D- und 2D-Elektronik- und Sensorsysteme
• Monolithische Integration von Nanostrukturen in MEMS und Mikroelektronik
• Pre- / Above- / Post-CMOS- bzw. MEMS-Prozesse
• Selbstorganisation von Nanostrukturen
• Heterogene Systemintegration
• Nanostrukturen auf neuartigen z.B. flexiblen Substraten
• Optische und elektrische Interconnects
• Reaktive Nanoschichten und Material-Verbundsysteme
• Charakterisierung und Qualitätssicherung von integ­rierten Nanostrukturen
• Co-Simulation von Mikro- und Nanostrukturen