Die Schichtdickenbestimmung metallischer Schichtsysteme dient sowohl der Qualitätsprüfung in der laufenden Produktion als auch der systematischen Fehler‑ und Schadensanalytik. Mit ihr lässt sich überprüfen, ob Schichten wie vorgesehen aufgebracht wurden, ob Soll‑Dicken eingehalten sind und ob der korrekte Schichtaufbau vorliegt.
Als besonders leistungsfähige Methode hat sich die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA / XRF) etabliert. Sie ermöglicht die zerstörungsfreie Bestimmung von Schichtdicken und Elementzusammensetzungen bei Ein‑ und Mehrschichtsystemen.
Typische Schichtsysteme und Anwendungen
- Galvanische Beschichtungen (z. B. Ni, Cu)
- Edelmetallbeschichtungen (z. B. Au, Ag)
- Funktions‑ und Schutzschichten auf Kupfer
- Mehrschichtsysteme in Elektronik, Automobil‑ und Industrieanwendungen
