Bild: Michael Meinel, Convanit

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30.01.2024 Expertengruppe

GMM FG 1.1.6 Data Integration and Analytics

Ein zunehmendes Datenvolumen in der Halbleiterproduktion, neue Technologien zur Datenintegration und Speicherung bieten verbesserte Möglichkeiten, durch Kombination verschiedenster Daten zur Ursachenforschung und schnelleren Verbesserungsaktionen beizutragen. Zu diesem Thema gründete sich im Juli 2018 eine neue Fachgruppe „Data Integration and Analytics“ - kurz „DIA“ genannt.

Ziele der Fachgruppe

Mitglieder der Fachgruppe 1.1.6 sind aktuell Prozesskontroll-, Daten- und IT Experten aus 10 Halbleiterfirmen und -instituten in Europa.

Unsere Ziele:

  • Austausch von aktuellen Erfahrungen und Herausforderungen bei den Datenintegrations- und Datenanalyseaufgaben zur Produktionsoptimierung.
  • Dabei liegt der Fokus auf der Nutzung verschiedenster Datenquellen (wie z.B. Prozess-, Maintenance-, Diagnostic-, Log-, Facility-, Environment, Probe-, Final test-, Binning-, PCM-, Metrology und Defektdaten) und neuer Analysemethoden zur Generierung zusätzlicher Erkenntnisse.
  • In einem ersten 2-tägigen Workshop am Fraunhofer IISB in Erlangen wurden im September 2018 die aktuelle Situation in den Firmen sowie die verschiedenen Ziele und Visionen diskutiert. 

    Seitdem kommen die Teilnehmer der Arbeitsgruppe ein- bis zweimal pro Jahr zusammen und besprechen Themen wie zum Beispiel:

    - Anomaly detection and root cause analysis use cases
    - Predictive (preventive) maintenance approaches and use cases
    - Yield Enhancement /Yield prediction methods and use cases
    - Data catalogues
    - Central vs decentral data base
    - Interdisciplinary teams for machine learning and other data analytics projects
    - Data Governance
    - Correlation and traceability down to chip level across front and backend

    Bis auf Ausnahmen finden die Treffen an einem Standort einer teilnehmenden Firma statt. Der Arbeitskreis ist offen für neue Mitglieder. 

Ines Thurner & Michael Meinel (CONVANIT GmbH&Co.KG)

Kontakt:
Michael Meinel