Ziele der Fachgruppe
Mitglieder der Fachgruppe 1.1.6 sind aktuell Prozesskontroll-, Daten- und IT Experten aus 10 Halbleiterfirmen und -instituten in Europa.
Unsere Ziele:
- Austausch von aktuellen Erfahrungen und Herausforderungen bei den Datenintegrations- und Datenanalyseaufgaben zur Produktionsoptimierung.
- Dabei liegt der Fokus auf der Nutzung verschiedenster Datenquellen (wie z.B. Prozess-, Maintenance-, Diagnostic-, Log-, Facility-, Environment, Probe-, Final test-, Binning-, PCM-, Metrology und Defektdaten) und neuer Analysemethoden zur Generierung zusätzlicher Erkenntnisse.
- In einem ersten 2-tägigen Workshop am Fraunhofer IISB in Erlangen wurden im September die aktuelle Situation in den Firmen sowie die verschiedenen Ziele und Visionen diskutiert. Als Herausforderung wurde unter anderem die Verbindung verschiedener Datenquellen und die Kombination von Analysetechniken mit fachlichem Expertenwissen beschrieben.
Ines Thurner & Michael Meinel (CONVANIT GmbH&Co.KG)
