10.04.2013 Expertengruppe 113 0

Ionenimplantation

Copyright: Fraunhofer IISB/ Kurt Fuchs

Die Fachgruppe 1.2.2 Ionenimplantation

trifft sich zweimal pro Jahr. Dabei werden aktuelle Trends der Ionenimplantation besprochen, alle zwei Jahre die Programme der
internationalen Ionenimplantations-Konferenz (IIT) mit vorbereiten und die Treffen der Nutzergruppe Ionenimplantation organisiert.
Der Fachausschuss setzt sich zusammen aus Mitgliedern aus der Halbleiterindustrie, von Anlagenherstellern und von Forschungseinrichtungen.

Die Nutzergruppe Ionenimplantation wurde im Jahre 1987 von Hans Glawischnig (Siemens AG) und Heiner Ryssel (Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Erlangen und Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg) nach dem Vorbild der GSVIUG (Greater Silicon Valley Ion Implant User Group) gegründet.

Die Veranstaltungen der Nutzergruppe Ionenimplantation werden gemeinsam von der ITG-Fachgruppe 8.1.1 und der GMM-Fachgruppe 1.2.2 organisiert.
Aus der Nutzergruppe Ionenimplantation ging die Nutzergruppe Heißprozesse und RTP hervor. Seither werden die Treffen der beiden Gruppen an zwei aufeinander folgenden Tagen durchgeführt. Am Nachmittag des ersten Tages findet das Nutzertreffen Heißprozesse und RTP, am zweiten Tag das Nutzertreffen Ionenimplantation statt.

Nähere Informationen zu den aktuellen und vergangenen Treffen sind unter diesem Link zu finden.

Kontakt

Dr. Volker Häublein
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und
Bauelementetechnologien IISB
Schottkystraße 10
91058 Erlangen

Tel.: 09131 761 220
E-Mail: volker.haeublein@iisb.fraunhofer.de

Dietmar Henke
GLOBALFOUNDRIES
Wilschdorfer Landstr. 101
01109 Dresden

Tel.: 0351 277 2769
E-Mail: Dietmar.Henke@globalfoundries.com

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