Abbildung eines MOCVD-Ofens

| copyright: Fraunhofer IISB/ Kurt Fuchs
20.03.2013 Expertengruppe

GMM FG 1.2.4 Heißprozesse und RTP

Die Nutzergruppe Heißprozesse und RTP

ging aus der Nutzergruppe Ionenimplantation hervor. Seither werden die beiden Treffen an zwei aufeinander folgenden Tagen durchgeführt. Am Nachmittag des ersten Tages findet das Nutzertreffen Heißprozesse und RTP statt.

Ziel dieser Veranstaltung "Nutzertreffen Heißprozesse und RTP" ist es, ein offenes Forum für Diskussionen aller Heißprozess- und RTP-Nutzer zu schaffen und einen Erfahrungsaustausch zwischen den Nutzern und den Herstellern von Heißprozess- und RTP-Anlagen zu ermöglichen. Für Interessenten ist die Teilnahme kostenlos.

Beiträge in Form von Kurzvorträgen über technologische Themen oder Vorstellungen von Erfahrungsberichten aus Produktion und Entwicklung sind jederzeit willkommen. Hierbei wird gerne auf aktuelle Probleme oder anwenderspezifische Neuerungen besonders eingegangen. Im Anschluss an das Treffen können bei einem gemeinsamen Abendessen, zusammen mit den Herstellern von Heißprozess- und RTP-Anlagen und Teilnehmern der Nutzergruppen Ionenimplantation weitere Themen intensiv diskutiert werden.

Das erste Treffen fand am 26. April 1996 in Bochum statt. Die Gruppe trifft sich zweimal im Jahr, im Frühjahr und im Herbst. Die Veranstaltungen der Nutzergruppe Heißprozesse und RTP werden gemeinsam von der ITG-Fachgruppe 8.1.2 und der GMM-Fachgruppe 1.2.4 organisiert.

Nähere Informationen zu den aktuellen und vergangenen Treffen sind unter diesem Link zu finden.

Kontakt:

Dr. Wilfried Lerch
Dr.-Ing. Anton Bauer

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