27.09.2016 Expertengruppe 313 0

Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik

copyright: Fraunhofer IISB/ Kurt Fuchs

Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik

Die Fachgruppe ermöglicht den Informations- und Erfahrungsaustausch in den Bereichen Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und Photovoltaik-Produkten.

Ziel ist es, ein offenes Forum für Diskussionen zu schaffen und den Kontakt zwischen Bauelemente- und Geräteherstellern sowie Forschungseinrichtungen zu fördern. Der Fokus der Diskussionsrunden liegt auf aktuellen Weiterentwicklungen von Verfahren und Geräten dieser Themenbereiche sowie Problemen bei deren praktischer Anwendung.


Die Treffen der Fachgruppe richten sich an Mitarbeiter der Bereiche:

  • Halbleiterfertigung und Photovoltaik
  • Hersteller von Fertigungs- und Messgeräten
  • Analytiklabore
  • Hochschule und Forschungsinstitute

Folgende Bereiche werden abgedeckt:

  • Halbleiterfertigung
  • Photovoltaik
  • Messtechnik

Den Kernpunkt der Aktivitäten der Fachgruppe bildet die Ausrichtung eines jährlichen Workshops mit einem Schwerpunktthema aus dem Gesamtgebiet „Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik“. Nähere Informationen zu den aktuellen und vergangenen Treffen sind unter folgendem Link zu finden (http://www.iisb.fraunhofer.de/en/research_areas/technology_manufacturing/gmm-user-groups/inspektion_analytik.html).

Kontakt

Dr. Mathias Rommel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und
Bauelementetechnologie IISB
Abteilung Technologie und Fertigung

Tel.: 09131 761 108
Fax: 09131 761 360
E-Mail mathias.rommel@iisb.fraunhofer.de

Dr. Günther Zoth
Infineon Technologies
Failure Analysis Regensburg

Tel.: 0941 202 1452
Fax: 0941 202 92 1452
E-Mail guenther.zoth@infineon.com

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