Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik
Die Fachgruppe ermöglicht den Informations- und Erfahrungsaustausch in den Bereichen Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und Photovoltaik-Produkten.
Ziel ist es, ein offenes Forum für Diskussionen zu schaffen und den Kontakt zwischen Bauelemente- und Geräteherstellern sowie Forschungseinrichtungen zu fördern. Der Fokus der Diskussionsrunden liegt auf aktuellen Weiterentwicklungen von Verfahren und Geräten dieser Themenbereiche sowie Problemen bei deren praktischer Anwendung.
Die Treffen der Fachgruppe richten sich an Mitarbeiter der Bereiche:
- Halbleiterfertigung und Photovoltaik
- Hersteller von Fertigungs- und Messgeräten
- Analytiklabore
- Hochschule und Forschungsinstitute
Folgende Bereiche werden abgedeckt:
- Halbleiterfertigung
- Photovoltaik
- Messtechnik
Den Kernpunkt der Aktivitäten der Fachgruppe bildet die Ausrichtung eines jährlichen Workshops mit einem Schwerpunktthema aus dem Gesamtgebiet „Prozesskontrolle, Inspektion und Analytik“. Nähere Informationen zu den aktuellen und vergangenen Treffen sind unter diesem Link zu finden.
