Die VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM) entstand am 1.1.1996 durch die Fusion der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik (GME) mit der VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik (GMF). Die GME wurde 1987 gegründet und die GMF bereits 1976. Beide Fachgesellschaften hatten ihre Wurzeln in länger bestehenden Vorläufergruppen.
Die Zusammenführung der beiden Fachgesellschaften in die GMM folgte der Dynamik der technischen Entwicklung. Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik verflochten sich mit der Mikromechanik und Mikrooptik zur Mikrosystemtechnik. Diese neue Schlüsseltechnologie durchdringt die Automatisierungstechnik, Medizintechnik, Sicherheitstechnik, Biotechnik und viele andere Bereiche.
2009 erfolgte die Umbenennung in VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM). Mit dieser Namensänderung trägt man der Bedeutung der Mikrosystemtechnik und der öffentlichen Sichtbarkeit dieser Technik unter diesem Namen Rechnung. Die GMM betreibt zu diesem Thema einen fein strukturierten Fachbereich und organisiert im Zweijahresrhythmus den Mikrosystemtechnik Kongress, der mit ca. 1.000 Teilnehmern die Flagschiffveranstaltung dieser Technik in Deutschland ist.