27.03.2010 Expertengruppe 119 0

Produktion und Fertigungsgeräte

Copyright: Fraunhofer IISB/ Kurt Fuchs

Der Fachausschuss 1.1

befasst sich mit Grundsatzfragen zu Halbleiterfertigungsgeräten und Materialien, Produktion, Automatisierung und Fertigungstechnik, Yield Enhancement, Testequipment und -verfahren, sowie mit Themen zu Reinraumtechnik und Infrastruktur.

Die im Rahmen des Fachausschusses stattfindenden Workshops zielen auf die Vernetzung von Material-, Geräte- und IC-Herstellern. Basierend darauf dienen sie der Feststellung und Formulierung gemeinsamer Interessen dieser Gruppen und verfolgen somit mittelfristig das Ziel einer firmenübergreifenden Zusammenarbeit in Bezug auf übergeordnete Themenkreise und Projekte.

Im Rahmen der Aktivitäten in diesem Fachausschuss wurde die Vernetzung von Anwendern und Lösungsanbietern kürzlich in themenbezogenen Workshops intensiviert, in denen die Interessen der
IC-Hersteller und die Expertise der Lieferanten im Fokus standen.

Kontakt

Prof. Dr. Lothar Pfitzner
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme
und Bauelementetechnologie IISB
Schottkystr. 10
91058 Erlangen

Tel.: 09131 761 110
Fax.: 09131 761 112
E-Mail: lothar.pfitzner@iisb.fraunhofer.de

Fachgruppe 1.1.3 - "Yield Enhancement"

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